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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG AUS TANTALSILIZIDEN UND NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTE INTEGRIERTE SCHALTUNG.
摘要
申请公布号 AT65003(T) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 AT19840402348T 申请日期 1984.11.16
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.A. 发明人 BAUDRANT, ANNIE;MARTY, MICHEL
分类号 H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):H01L29/54 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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