发明名称 WAFER TRNNSFERRING AND EXPANDING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 KR920000900(Y1) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 KR19880010833U 申请日期 1988.07.02
申请人 SAM SUNG AIRCRAFT IND. CO., LTD. 发明人 OH, SUK - JOO
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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