发明名称 WAFER MATERIAL EDGE FACE POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05329759(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920163535 申请日期 1992.05.29
申请人 SANSHIN:KK 发明人 HOSOGAI NOBUKAZU
分类号 B24B9/00;(IPC1-7):B24B9/00 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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