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发明名称 Verbesserungen von Verfahren zum Herstellen von Chips mit einer integrierten Schaltung und auf diese Art hergestellte Chips
摘要
申请公布号 DE3588129(D1) 申请公布日期 1996.12.12
申请号 DE19853588129 申请日期 1985.05.10
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORP., MAYNARD, MASS., US 发明人 WU, ANDREW L., SHREWSBURY MASSACHUSETTS 01545, US
分类号 H01L29/78;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8234;H01L29/417;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/60 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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