发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09181175(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950351345 申请日期 1995.12.26
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 UCHIYAMA TOMOYUKI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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