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经营范围
发明名称
SUBSTRATE TREATING TANK
摘要
申请公布号
JPH09181038(A)
申请公布日期
1997.07.11
申请号
JP19950339380
申请日期
1995.12.26
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
TOKURI KENTAROU
分类号
B08B3/04;H01L21/304;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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