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发明名称 MIKROMECHANISCHER SENSOR
摘要
申请公布号 DE69313104(D1) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19936013104 申请日期 1993.03.15
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD., LONDON, GB 发明人 MOORE, DAVID, FRANK, CAMBRIDGE CB1 2DX, GB;HOOLE, ANDREW, CHARLES,FREDERICK, FLAT 2, TRUMPINGTON CB2 2LH, GB;HEAVER, ALAN, 2 POPLAR VILLAS, OAKINGTON CB4 5DD, GB
分类号 G01N27/12;B81B3/00;G01B7/00;G01B7/14;G01N13/12;G01N19/00;G01N27/22;G01N37/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/14 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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