发明名称 Verfahren zur Herstellung von Disilan aus Monosilan durch elektrische Entladung und Benützung einer Kühlfalle, sowie Reaktor zu seiner Durchführung
摘要
申请公布号 DE69407839(T2) 申请公布日期 1998.06.18
申请号 DE1994607839T 申请日期 1994.03.03
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, PARIS, FR 发明人 BERNARD, FREDERIC, 92100 BOULOGNE-BILLANCOURT, FR;BORG, VALERIE, F-38000 GRENOBLE, FR;DIDIER, PIERRE, F-38000 GRENOBLE, FR;GUERIN, DANIEL, RESIDENCE DU VAL FLEURI, F-77500 CHELLES, FR;GASTIGER, MICHEL, F-91400 ORSAY, FR;KARINTHI, PIERRE, F-78350 JOUY EN JOSAS, FR;VILLERMET, ALAIN, F-78220 VIROFLAY, FR;WILLEMOT, ANTOINE, F-92350 SCEAUX, FR
分类号 B01J19/08;C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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