| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DRYING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100260586(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.01 |
| 申请号 |
KR19930029478 |
申请日期 |
1993.12.24 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
GAMIKAWA, YUJI |
| 分类号 |
F25D9/00;F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F25D9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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