发明名称 针条电极脉冲预电离横流二氧化碳激光器放电腔
摘要 一种针条电极脉冲预电离横流二氧化碳激光器放电腔,放电腔内的阳极是由排成一列相互绝缘的嵌于绝缘板上的阳极条构成。预电离电极是由与阳极条一一相对应排成一列的脉冲预电离针构成。阴极是由与阳极条和脉冲预电离针一一相对应排成一列或多列的阴极针构成。阴极针和脉冲预电离针的针头指向阳极条。尾部插入装有流动液体的液槽内。两针的尾端与两接线柱之间由液体电阻联结。具有注入功率大,输出激光功率高的特点。
申请公布号 CN1292588A 申请公布日期 2001.04.25
申请号 CN00125893.1 申请日期 2000.10.31
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 程兆谷
分类号 H01S3/03;H01S3/038 主分类号 H01S3/03
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 李兰英
主权项 1.一种针条电极脉冲预电离横流二氧化碳激光器放电腔,包括:<1>在放电腔(16)内置有流动的气体激光工作物质(1601),由谐振腔腔镜(1101)构成的光学谐振腔(11),放电腔(16)内电极之间的放电方向(μ)与气体激光工作物质(1601)流动方向(υ)以及光学谐振腔(11)光轴(O)三方向相互垂直成正交的x,y,z方向;<2>放电腔(16)内,置于气体激光工作物质(1601)中有排成一列相互绝缘的嵌于绝缘板(802)上的阳极条(801),与阳极条(801)一一相对应地置于气体激光工作物质(1601)流动方向上游的排成一列的脉冲预电离针(7);<3>脉冲预电离电极接线柱(3)通过耦合电容(4),预电离电源(5),隔直电容(6)与连接在阳极条(801)上的限流电阻(9)相联构成脉冲预电离回路,阴极接线柱(1)通过直流电源(12)和滤波电感(10)与连接在阳极条(801)上的限流电阻(9)相联构成主放电回路;其特征在于:<4>有与阳极条(801)和脉冲预电离针(7)一一相对应的并与排成一列的脉冲予电离针(7)平行排成列的阴极针(13);<5>阴极针(13)和脉冲预电离针(7)的针头指向阳极条(801)沿长度方向中轴的位置上,阴极针(13)和脉冲预电离针(7)的尾部插入绝缘体(2)上的液槽(201)中;<6>所说的脉冲预电离电极接线柱(3)是置于插入脉冲预电离针(7)的液槽(201)底部,所说的阴极接线柱(1)是置于插入阴极针(13)的液槽(201)底部;<7>绝缘体(2)上的液槽(201)带有进液口(202)和出液口(203),液槽(201)里装有流动的液体(1501),在液槽(201)口阴极针(13)和脉冲预电离针(7)的周围有密封层(14);<8>在液槽(201)里的液体(1501)内,阴极针(13)与阴极接线柱(1)之间以及脉冲预电离针(7)与脉冲预电离电极接线柱(3)之间由液体(1501)构成液体电阻(1502)联结。
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