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发明名称 THREE-DIMENSIONAL DEVICE FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100621960(B1) 申请公布日期 2006.09.08
申请号 KR20057009031 申请日期 2005.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/48;H01L21/44;H01L21/50;H01L23/12 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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