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发明名称 Methods Of Depositing Materials Over Substrates, And Methods Of Forming Layers Over Substrates
摘要
申请公布号 KR100762575(B1) 申请公布日期 2007.10.01
申请号 KR20067002332 申请日期 2006.02.03
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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