发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 KR100814655(B1) 申请公布日期 2008.03.18
申请号 KR20060079880 申请日期 2006.08.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/68 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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