| 发明名称 | 大尺寸衬底及其制造方法 | ||
| 摘要 | 公开一种大尺寸衬底，它具有不小于500mm的对角线长度和不大于6.0×10<SUP>-6</SUP>的平面度/对角线长度比率。通过把按照本发明的大尺寸衬底用于曝光，曝光精度被提高，特别是对齐精度和分辨率，因此可能获得大尺寸面板的高精度曝光。通过使用按照本发明的加工方法，有可能稳定获得高平面度的大尺寸光掩模衬底，由于在面板曝光时CD精度(尺寸精度)被提高，有可能执行精细图案的曝光，使面板进入更高的领域。另外，通过应用按照本发明的加工方法，也可能产生任意的表面形状。 | ||
| 申请公布号 | CN100403097C | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
| 申请号 | CN03102309.6 | 申请日期 | 2003.01.30 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 柴野由纪夫;三原田悟;上田修平;渡部厚;田畑正树 |
| 分类号 | G02F1/133(2006.01);G02F1/136(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G02F1/133(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种大尺寸合成石英玻璃衬底，具有不小于500mm的对角线长度、5～20mm的厚度、不大于6.0×10-6的平面度/对角线长度比率、和不大于50μm的平行度。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||