| 摘要 |
ＬＳＩ回路への入力前に計測信号以外の加速度の印加による信号を相殺して、慣性センサの誤動作や誤出力による機能停止を抑制する技術である。静電容量型のＭＥＭＳ加速度センサ１００であって、可動部１０４、検出用可動電極１０５ａと検出用固定電極１０６ａとのＰ側第１電極対、検出用可動電極１０５ｂと検出用固定電極１０６ｂとのＰ側第２電極対、検出用可動電極１０９ａと検出用固定電極１１０ａとのＮ側第１電極対、検出用可動電極１０９ｂと検出用固定電極１１０ｂとのＮ側第２電極対を有する構成において、可動部１０４はこの可動部１０４の内側に設けられた固定部１０１の１点で支持され、さらに、可動部１０４の固定部１０１と検出用固定電極１０６ａの固定部１０７と検出用固定電極１０６ｂの固定部１０８と検出用固定電極１１０ａの固定部１１１と検出用固定電極１１０ｂの固定部１１２とはＭＥＭＳ加速度センサ１００の検出方向１１５と垂直な直線１１６上に配置され、さらに、可動部１０４の固定部１０１に対し、一方にＰ側第１電極対とＮ側第１電極対とが設けられ、他方にＰ側第２電極対とＮ側第２電極対とが設けられている。 |
