用于处理碟片基板之方法及设备

摘要

一个以射出成形获致的模制之碟片基板在其固化之前系以高速进行旋转，并且一种气体在模制之碟片基板旋转时系沿着该模制之碟片基板的至少一个表面进行流动，并且在模制之碟片基板已固化后旋转系被中止。因此，可以在短时间内获得一个带有少量翘曲之碟片基板。