发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0386760(A) |
申请公布日期 |
1991.04.11 |
申请号 |
JP19890221549 |
申请日期 |
1989.08.30 |
申请人 |
SUMITOMO BAKELITE CO LTD |
发明人 |
TOKO AKIRA;SASHITA NOBUYUKI;TAKEUCHI ETSU |
分类号 |
G03F7/027;C08K5/00;C08K5/10;C08K5/3415;C08L79/08;G03F7/075;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
G03F7/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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