发明名称 GAS CIRCULATION TYPE GAS LASER APPARATUS AND METHOD OF OPERATING THE SAME
摘要
申请公布号 US5199267(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 US19920822609 申请日期 1992.01.15
申请人 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 MITSUI, JIN
分类号 H01S3/03;H01S3/036;H01S3/041;H01S3/097;H01S3/225 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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