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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05269967(A) 申请公布日期 1993.10.19
申请号 JP19920065751 申请日期 1992.03.24
申请人 发明人
分类号 B41F17/14;G02F1/13;H01L21/31;(IPC1-7):B41F17/14 主分类号 B41F17/14
代理机构 代理人
主权项
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