发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06342835(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19930149892 申请日期 1993.05.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HARADA TERUAKI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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