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发明名称
FORMATION OF MICRO-STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH07329237(A)
申请公布日期
1995.12.19
申请号
JP19940125967
申请日期
1994.06.08
申请人
CANON INC
发明人
YAGI TAKAYUKI
分类号
G02B26/08;B05D7/02;B32B15/08;B81B3/00;B81C1/00;C23F1/00;C23F4/00;H02N1/00;(IPC1-7):B32B15/08
主分类号
G02B26/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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