发明名称 FORMATION OF MICRO-STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH07329237(A) 申请公布日期 1995.12.19
申请号 JP19940125967 申请日期 1994.06.08
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI
分类号 G02B26/08;B05D7/02;B32B15/08;B81B3/00;B81C1/00;C23F1/00;C23F4/00;H02N1/00;(IPC1-7):B32B15/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
地址