发明名称 AFM CANTILEVER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08327636(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950155527 申请日期 1995.05.31
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 HASEGAWA MAMORU
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/38;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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