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发明名称 Sensoranordnung und Verfahren zum Erfassen von Eigenschaften der Oberflächenschicht eines metallischen Targets
摘要
申请公布号 DE4327712(C2) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE19934327712 申请日期 1993.08.18
申请人 MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO KG, 94496 ORTENBURG, DE 发明人 MANDL, ROLAND, 94496 ORTENBURG, DE;SEIKOWSKY, AXEL, 84347 PFARRKIRCHEN, DE;SPANG, ANDREAS, 66625 TUERKISMUEHLE, DE
分类号 G01B7/06;G01B7/00;G01B7/02;G01B11/02;G01B21/30;G01N27/72;G01N27/90;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
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