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发明名称 MECHANICALLY JOINED SPUTTERING TARGET AND ADAPTER THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0809718(A1) 申请公布日期 1997.12.03
申请号 EP19950939495 申请日期 1995.10.18
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 STRAUSS, DAVID, P.;HUNT, THOMAS, J.;GILMAN, PAUL, S.
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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