| 发明名称 |
METHOD FOR DISCRIMINATING FRONT AND REAR DEFECTS OF GLASS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09258197(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19960087050 |
申请日期 |
1996.03.18 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
TAKEDA MASAOMI;AIKO KENJI;KATO NOBORU |
| 分类号 |
G02F1/1333;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01N21/958;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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