发明名称 Article comprising an optical fiber attached to a micromechanical device
摘要
申请公布号 EP0887675(A3) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19980304774 申请日期 1998.06.17
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 GREYWALL, DENNIS S.;WALKER, JAMES A.
分类号 G01B11/16;G01D5/26;G02B6/24;G02B6/26;G02B6/35;G02B26/00;G02B26/02;(IPC1-7):G02B6/42 主分类号 G01B11/16
代理机构 代理人
主权项
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