发明名称
摘要
申请公布号 JP3569299(B2) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 JP19930144579 申请日期 1993.06.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C8/36;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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