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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING A SURFACE QUALITY OF A SUBSTRATE SAMPLE USING A DIFFERENTIAL INTERFERENCE CONTRAST MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1508034(A1) 申请公布日期 2005.02.23
申请号 EP20030755436 申请日期 2003.05.22
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 FASHANT, DANIEL, R.;ECKLUND, STEVEN, P.;SELLIN, TRACY, L.;SAVARD, THOMAS, A.
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G02B21/00;(IPC1-7):G01N21/88;G01N21/95;G01N21/57;G02B21/26 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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