发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100620198(B1) 申请公布日期 2006.09.01
申请号 KR20020057005 申请日期 2002.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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