| 发明名称 | 对位精度检测装置 | ||
| 摘要 | 一种对位精度检测装置，其具有基板、集成电路、以及检测单元。基板具有相邻的第一及第二定位金属垫。集成电路配置在基板上，且具有相邻的第一及第二定位凸块。第一及第二定位凸块分别相对于第一及第二定位金属垫。检测单元耦接基板。当第一及第二定位凸块与第一及第二定位金属垫之间发生对位偏移时，检测单元输出错误信号。 | ||
| 申请公布号 | CN1889243A | 申请公布日期 | 2007.01.03 |
| 申请号 | CN200610108030.X | 申请日期 | 2006.07.24 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 李俊右;周诗频;陈建良;赖文弘 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/60(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种对位精度检测装置，包括：一基板，具有相邻的一第一定位金属垫及一第二定位金属垫；一集成电路(IC)，配置在该基板上，且具有相邻的一定位凸块第一及一第二定位凸块，且该第一定位凸块及该第二定位凸块分别对应于该第一定位金属垫及该第二定位金属垫；以及一检测单元，耦接该基板，其中，当该第一定位凸块及该第二定位凸块与该第一定位金属垫及该第二定位金属垫之间发生对位偏移时，该检测单元将输出一错误信号。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||