| 摘要 |
ＭＳＥ法を用いて単結晶炭化珪素基板を作製する際、種基板に生じる反りを十分に抑制して、後工程の貼り付け工程における単結晶炭化珪素基板の割れの発生を抑制することができる単結晶炭化珪素基板の作製方法および単結晶炭化珪素基板を提供する。準安定溶媒エピタキシャル法を用いた単結晶炭化珪素基板の作製方法であって、重石として、種基板と対向する側の面が炭化珪素により形成されている重石を用いて、単結晶炭化珪素基板を作製する単結晶炭化珪素基板の作製方法。重石が、炭化珪素により形成された重石や、少なくとも種基板と対向する側の面に炭化珪素の層が形成された重石である単結晶炭化珪素基板の作製方法。および前記単結晶炭化珪素基板の作製方法により作製されている単結晶炭化珪素基板。 |
