发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED-CIRCUIT DEVICE METALLIZATION
摘要
申请公布号 EP0372861(A3) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 EP19890312576 申请日期 1989.12.01
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 RANA, VIRENDRA VIR SINGH;TSAI, NUN-SIAN
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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