发明名称
摘要
申请公布号 JPH0433696(B2) 申请公布日期 1992.06.03
申请号 JP19850086325 申请日期 1985.04.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIHARA TOMOYOSHI;TADA KEIJI;KAGE ISAMU
分类号 B65H7/04;B65G1/00;B65G1/07;B65H1/28;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 B65H7/04
代理机构 代理人
主权项
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