发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0661353(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920150495 申请日期 1992.06.10
申请人 NIPPONDENSO CO LTD;TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 ISOBE YOSHIHIKO;IIDA MAKIO;ABE HIROBUMI;ISHIHARA OSAMU
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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