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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0661351(A)
申请公布日期
1994.03.04
申请号
JP19920210096
申请日期
1992.08.06
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
URAMOTO SHINICHI;KUMAKI SATORU
分类号
H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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