发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0661351(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920210096 申请日期 1992.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 URAMOTO SHINICHI;KUMAKI SATORU
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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