| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING ELECTROLYTIC ACTIVATED WATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07256261(A) |
申请公布日期 |
1995.10.09 |
| 申请号 |
JP19940056111 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KITAJIMA HIROSHI;AOKI HIDEMITSU |
| 分类号 |
C02F1/46;B08B3/08;C02F1/04;C02F1/461;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C02F1/46 |
主分类号 |
C02F1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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