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发明名称 Semiconductor substrate and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 AU5969998(A) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 AU19980059699 申请日期 1998.03.27
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 NOBUHIKO SATO;TAKAO YONEHARA;KIYOFUMI SAKAGUCHI
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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