| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SYNTHESIZING CARBON COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11233499(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980028965 |
申请日期 |
1998.02.10 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CORP RES & DEV LTD;AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
IDENO YUTAKA;SUGIYAMA SHUICHI;KAKUDATE YOUZOU;FUJIWARA SHUZO |
| 分类号 |
H05H1/04;C01B31/02;C23C14/32;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/314;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H05H1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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