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发明名称
MANUFACTURE OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11233452(A)
申请公布日期
1999.08.27
申请号
JP19980028037
申请日期
1998.02.10
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TOMIOKA TAKESHI
分类号
H01L21/28;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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