发明名称 MANUFACTURE OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11233452(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980028037 申请日期 1998.02.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOMIOKA TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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