| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRETREATMENT FOR FILM FORMATION ON BASE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11233472(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980051329 |
申请日期 |
1998.02.17 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KOGURE NAOAKI;KATO TAKAO;HONGO AKIHISA |
| 分类号 |
C25D7/12;C23G1/00;C25F3/12;C25F3/30;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
C25D7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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