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发明名称
摘要
申请公布号 JP2964553(B2) 申请公布日期 1999.10.18
申请号 JP19900148094 申请日期 1990.06.06
申请人 SEIKOO EPUSON KK 发明人 SEKI TETSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/461;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/10;H01S5/327;(IPC1-7):H01S3/18;H01S3/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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