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发明名称
System and method for cleaning contaminated surfaces in an ion implanter
摘要
申请公布号
EP1052676(A3)
申请公布日期
2001.05.23
申请号
EP20000303860
申请日期
2000.05.08
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BERNSTEIN, JAMES DAVID;KOPALIDIS, PETER MILTIADIS;FREER, BRIAN SCOTT
分类号
C23C14/00;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/02
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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