| 发明名称 |
Menetelmä vahvistavien aaltojohteiden valmistamiseksi |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI20021096(A0) |
申请公布日期 |
2002.06.07 |
| 申请号 |
FI20020001096 |
申请日期 |
2002.06.07 |
| 申请人 |
PLANAR SYSTEMS OY, |
发明人 |
POLAMO,KIRSI;TOERNQVIST,RUNAR |
| 分类号 |
C23C16/00;G02B;G02B6/12;H01L;H01L21/44;H01P;H01S3/063;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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