| 摘要 |
전자 디바이스 제조 공장에서 사용되는 초순수 제조 시스템에 있어서의 활성탄 처리와 후단의 RO 막 분리 처리를 포함하는 플로우에 있어서, 활성탄탑 내 그리고 역침투막 분리 장치에 있어서의 미생물의 증식을 억제하여 장기에 걸쳐 안정적인 처리를 실시하는 것을 가능하게 하는 유기물 함유수의 처리 방법 및 처리 장치. 유기물 함유수에 슬라임 컨트롤제를 첨가하는 슬라임 컨트롤제 첨가 공정과, 그 슬라임 컨트롤제 첨가 공정을 거친 유기물 함유수를 활성탄으로 처리하는 활성탄 처리 공정과, 그 활성탄 처리 공정을 거친 유기물 함유수를 역침투막 분리 수단에 통수시키는 역침투막 분리 공정을 갖는 상기 유기물 함유수의 처리 방법에 있어서, 슬라임 컨트롤제로서 염소계 산화제와 술파민산 화합물의 결합 염소제를 사용한다. |
