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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE HAVING MAGNETIC FIELD
摘要
申请公布号 JPH06251895(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930094818 申请日期 1993.02.24
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KATAYAMA KATSUO
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/52;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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