| 摘要 |
本发明的课题在于提供一种不会有损生产性，且可防止对制膜或图案形成造成不良影响或者导致装置污染之冲洗可能的液滴喷出装置及其驱动方法，制膜装置及制膜方法等。其解决手段乃本发明的液滴喷出装置30具有：被滴喷出头34；该液滴喷出头34可来回移动于X轴方向，且具备纵横整列的复数个喷嘴；及冲洗区41；该冲洗区41对基台39上的基板S而言，是设置于至少一方的侧方；及控制手段40；该控制手段40是在于控制液滴喷出头34的动作；又，被滴喷出头34会被配置成倾斜于X轴方向。又，控制手段40是边使液滴喷出头34移动，边于冲洗区内使冲洗动作进行，且在至少一个喷嘴到达自预设的冲洗区内离开的位置时，使能够控制成停止所有喷嘴的冲洗动作。 |
