| 摘要 |
【课题】提供一种感光性树脂组成物，其适用为半导体装置、FPD等的层间绝缘膜或平坦化膜等之形成材料，具有良好的经时安定性、优良解像度、耐热性、透射率等特性，而且涂布性良好、亦没有显像残渣。【解决手段】一种感光性树脂组成物，其包含硷可溶性树脂、具二叠氮基的感光剂、溶剂以及视需要之具环氧基的硬化剂，其中该硷可溶性树脂系丙烯酸系树脂，该溶剂系为丙二醇单甲醚醋酸酯与常温、常压下的蒸气压比丙二醇单甲醚醋酸酯小的溶剂之混合物，而且该感光性树脂组成物含有下述通式(I)所示的酚性化合物。092103745p01.bmp(式中，R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7各自独立地表示H、C1-C4烷基或092103745p02.bmp，m和n各自独立地系0~2之整数，a、b、C、d、e、f、g和h系为满足a+b≦5、c+d≦5、e+f≦5、g+h≦5的0~5之整数，i系0~2之整数)。 |
