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发明名称 DRYING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100255994(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19970060922 申请日期 1997.11.18
申请人 RYODEN SEMICONDUCTOR SYSTEM ENGINEERING CORPORATION;MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUMOTO, AKINORI;KURODA, TAKESHI;BAN, KOJI;KONISHI, TOUKO;YOKOI, NAOKI
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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