| 摘要 |
<p>L'invention porte sur un élément de détection de débit utilisé dans des capteurs thermosensibles afin de mesurer le débit de divers fluides, notamment, l'air aspiré dans des moteurs à combustion interne. L'élément de détection de débit comprend une couche mince se présentant sous forme de film et formée par stratification d'un film de support isolant et d'un film protecteur sur une surface d'un substrat plan. Le film est constitué d'une partie résistant au débit calorifique et d'une partie résistante comparative grâce à une résistance thermosensible disposée selon une configuration prédéterminée entre le film de support et le film protecteur. Certaines parties des régions respectivement opposées à la résistance au débit calorifique et à la résistance comparative sur le substrat plan sont pourvues d'évidements s'étendant dans le substrat plan, dans le sens de l'épaisseur, et un passage pour le fluide communique avec la partie creuse opposée à la résistance comparative et permet d'amener le fluide dans la partie creuse. La résistance comparative détecte de manière très sensible la température du fluide, et sur la base de ces informations, le débit ou vitesse d'écoulement du fluide peut être mesuré avec précision par la résistance au débit calorifique.</p> |
