衍生富勒烯的制造装置及制造方法

摘要

本发明提供可实现等离子体中电子的高效率加热、可提高衍生富勒烯收率的衍生富勒烯的制造装置。利用具备微波发生器、镜磁场形成线圈、和4相控制螺旋形天线的等离子体生成装置，可生成高电子温度等离子体，因此可提高衍生对象离子的生成效率，提高衍生富勒烯的收率。

主权项

1.衍生富勒烯的制造装置，其具备：用于从含有衍生对象原子M的气体中生成一价正离子M+的高电子温度等离子体生成装置；设置于上述高电子温度等离子体生成装置的下游、用于控制等离子体中的电子能的电子能控制装置；向含有M+和电子的等离子体中导入富勒烯，生成富勒烯离子的富勒烯导入装置；和通过上述等离子体中富勒烯离子与M+的反应生成衍生富勒烯，堆积该衍生富勒烯的堆积基板。